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壓電剪切片能提供橫向的位移,將多個剪切片用環(huán)氧樹脂和銅箔粘接成疊堆,能夠提供更大的橫向位移。
通過對剪切疊堆和Z軸運動的壓電陶瓷進行疊加,可形成XY/XZ/YZ/XYZ等多軸移動的疊堆。
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